6月6日音信，国度学问产权局信息浮现，深圳清溢光电股份有限公司苦求一项名为“一种掩膜版查验机精度校准样片”的专利，授权公告号CN116661238B，授权公告日为2026年6月5日。苦求公布号为CN116661238A，苦求号为CN202310428810.6，苦求公布日历为2026年6月5日，苦求日历为2023年4月20日，发明东谈主熊启龙、宋恺，专利代理机构合肥律众学问产权代理有限公司，专利代理师殷娟，分类号G03F1/84、G03F1/72、G01N21/95、G01N21/88、G01N21/01。

专利纲要浮现，本发明公开了一种掩膜版查验机精度校准样片，包括基片，基片上树立有位置校准区域和精度校准区域；精度校准区域内树立有对比图形单位和弱势图形单位；对比图形单位内呈横纵摆列状树立有多少掩膜版样片对比图形，对比图形单位内归拢瞥中掩膜版样片对比图形一致，仅尺寸增减；弱势图形单位内呈横纵摆列状树立有多少掩膜版样片弱势图形，弱势图形单位内归拢瞥中掩膜版样片弱势图形一致，仅尺寸增减；对比图形单位和弱势图形单位内归拢瞥、诸君置的掩膜版样片对比图形和掩膜版样片弱势图形一致，吉祥访(中国)手机网且尺寸疏导，仅掩膜版样片弱势图形内增设弱势特征；本发明的掩膜版查验机精度校准样片，搞定配景期间中淡薄的险恶对掩膜版查验机精度的校准和弱势的全查验。

清溢光电树立于1997年8月25日，于2019年11月20日在上海证券交游所上市，注册地址和办公地址均为广东省深圳市。它是国内掩膜版行业逾越企业，专注掩膜版业务，具备深厚期间积攒与高居品良率的互异化上风。

清溢光电主商业务为掩膜版的研发、算计打算、坐蓐和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体材料，属于中盘成长、假造试验（VR）、专精特新见识板块。

2025年，清溢光电兑现商业收入12.4亿元，在26家同业中排行第12，远低于第别称有研新材的95.42亿元和第二名雅克科技的86.11亿元，高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元。主商业务中，石英掩膜版收入11.52亿元，占比92.95%。净利润方面，2025年达1.88亿元，行业排行第8，低于第别称雅克科技的10.3亿元和第二名江丰电子的4.14亿元，高于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元。

深圳清溢光电股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利称呼专利类型法律景象苦求号苦求日历公开(公告)号公开(公告)日历发明东谈主1一种高精度二级Z轴模组发明专利骨子审查的收效、公布CN202311366264.42023-10-20CN117526759A2024-02-06王景新、伸开国2一种IC掩膜版CD测量机实用新式授权CN202322825222.42023-10-20CN221149137U2024-06-14王景新、伸开国3一种半色彩掩膜版的制作顺次发明专利骨子审查的收效、公布CN202310428811.02023-04-20CN116661233A2023-08-29熊启龙、徐兵4一种掩膜版查验机精度校准样片发明专利授权CN202310428810.62023-04-20CN116661238B2026-06-05熊启龙、宋恺5一种可翻转的掩膜版查验安装实用新式授权CN202320870105.72023-04-18CN219715926U2023-09-19熊启龙、蔡舫6一种掩膜版抬版治具实用新式授权CN202320834992.22023-04-14CN219669103U2023-09-12熊启龙、王亚腾7一种Pellicle膜盒实用新式授权CN202320834993.72023-04-14CN219842629U2023-10-17熊启龙、彭伟8一种掩膜版晾干安装实用新式授权CN202320037538.42023-01-07CN219225298U2023-06-20鄢赤军9一种大尺寸掩膜版清洗静电改善顺次发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN202211694291.X2022-12-28CN116213339A2023-06-06鄢赤军10一种高精度高速自动对焦安装实用新式授权CN202222639458.42022-09-30CN218413022U2023-01-31朱春辉11一种多参考点高精度掩膜版贴片安装发明专利授权、公布CN202211157642.32022-09-22CN115480444B2025-07-15张津12一种掩模版mura标定安装实用新式授权CN202221105024.X2022-05-10CN217820064U2022-11-15莫卫东13一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔断结构实用新式授权CN202220572573.12022-03-16CN217821246U2022-11-15赵冬生14一种手合手式铬板清洗电动刷子实用新式授权CN202220020929.02022-01-05CN217565223U2022-10-14荆学军15一种大尺寸MASK转运台车及系统实用新式授权CN202123036035.52021-12-06CN216806968U2022-06-24王景新、伸开国16一种提高9寸掩膜版清洗安全和清洗成果的夹具实用新式授权CN202121796789.82021-08-03CN215769348U2022-02-08黄志斌17一种MASK目视查验机发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN202011324027.82020-11-23CN112345525A2021-02-09王景新、伸开国18一种提高光刻速率的顺次、安装、存储介质及结尾诱骗发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN202010790774.42020-08-07CN111999985B2023-01-31郝明毅、朱春辉19一种异形玻璃掩膜版坐蓐顺次发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN202010639006.92020-07-06CN111830784A2020-10-27荆学军、熊启龙20一种机械手取放MASK对接定位安装实用新式授权CN202020585215.52020-04-20CN212863091U2021-04-02王景新、伸开国21铬版振荡用夹具实用新式授权CN201922105959.22019-11-29CN211805653U2020-10-30荆学军22夹具储存输送安装发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN201910061525.92019-01-23CN109572786A2019-04-05王景新、伸开国23夹具储存输送安装实用新式授权CN201920111026.12019-01-23CN209581578U2019-11-05王景新、伸开国24一种光掩膜清洗安装实用新式授权CN201821758937.52018-10-29CN209577525U2019-11-05熊启龙、鄢赤军25干法蚀刻制备6代LTPS用PSM发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN201811143659.72018-09-29CN109062002A2018-12-21熊启龙、戴海哲、谭超华、鄢赤军26一种提高光刻机坐标精度的顺次发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201810016021.02018-01-08CN108073051B2020-07-07李跃松、莫卫东、朱春晖、雄心华27一种掩模板制作的优化算计打算顺次发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN201711471168.02017-12-28CN107885031A2018-04-06李春兰、李跃松、邓振玉28小尺寸MASK贴膜机发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201711126407.92017-11-15CN107877840B2019-11-05丁延贵29一种半透膜掩模版LCVD修补系统发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN201710887194.52017-09-26CN107678244A2018-02-09李跃松、伸开国、罗俊辉30一种半透膜掩模版LCVD修补系统实用新式授权CN201721254299.92017-09-26CN207541408U2018-06-26李跃松、伸开国、罗俊辉31一种旋覆与狭缝液帘合营的显影顺次发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、公布CN201610810265.72016-09-07CN106200280A2016-12-07熊启龙、鄢赤军32一种铬蚀刻液过火制备顺次发明专利发明专利苦求公布后的驳回、骨子审查的收效、发明专利苦求公布CN201610806796.92016-09-07CN106435589A2017-02-22鄢赤军、熊启龙33机械夹子实用新式授权CN201621043633.12016-09-07CN206185726U2017-05-24荆学军、戴海哲、熊启龙34一种旋覆与狭缝液帘合营的显影诱骗实用新式授权CN201621043632.72016-09-07CN206209293U2017-05-31熊启龙、鄢赤军35激光气相千里积现象修补白弱势的顺次发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201510097968.52015-03-04CN104746041B2018-02-13张俊、李跃松36一种修补测量软件屏幕的戒指顺次和系统发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201510016465.02015-01-13CN104598129B2018-02-13李永杭37一种AutoCAD中图形替换翰墨的顺次及安装发明专利发明专利苦求公布后的视为除去、骨子审查的收效、发明专利苦求公布CN201510014198.32015-01-12CN104574451A2015-04-29徐凌飞38超薄反映腔实用新式专利权的隔断、授权CN201520018372.72015-01-12CN204474758U2015-07-15宋体涵、万承华39压边组件及具有该压边组件的贴膜机实用新式专利权的隔断、授权CN201520018485.72015-01-12CN204547269U2015-08-12伸开国、夏静远40贴膜机实用新式幸免重迭授权烧毁专利权、实用新式专利权授予CN201520019267.52015-01-12CN204547270U2015-08-12伸开国、夏静远41夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机实用新式专利权的隔断、授权CN201520019257.12015-01-12CN204621873U2015-09-09伸开国、夏静远42贴膜机发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201510014250.52015-01-12CN104553235B2016-06-15伸开国、夏静远43超薄反映腔发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201510013868.X2015-01-12CN104561939B2017-11-24宋体涵、万承华44光掩模铬版修补的合束系统实用新式专利权的隔断、授权CN201520017324.62015-01-09CN204440008U2015-07-01罗俊辉、曾献斌45直线开动平台安装实用新式专利权的隔断、授权CN201520009207.52015-01-07CN204473753U2015-07-15张津、伸开国46裁汰光掩模板条纹的顺次及安装发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201210508623.02012-12-03CN103019029B2015-02-11邓振玉、张沛、李跃松47裁汰光掩模板条纹的顺次及安装发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201410211411.52012-12-03CN103995431B2017-06-13邓振玉、张沛、李跃松48裁汰光掩模板条纹的顺次及安装发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201410211477.42012-12-03CN103995432B2017-09-08邓振玉、张沛、李跃松49一种通过加曝图形制作掩模板的顺次发明专利授权、骨子审查的收效、公布CN201210384701.02012-10-11CN102890432B2014-12-24李春兰50一种激光器障壁修补系统实用新式文献的公告投递、专利权的隔断、文献的公告投递、授权CN201220153047.82012-04-12CN202651054U2013-01-02罗俊辉、蔡春迎、李跃松吉祥访(中国)手机网